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圓筒型臥式真空腔體的基本結構設計解析

       圓筒型臥式真空腔體作為常見的真空設備核心部件,其基本結構設計需兼顧功能性與穩(wěn)定性。整體呈水平放置的圓柱形態(tài),主體由高強度不銹鋼或鋁合金材質制成,確保良好的密封性和耐腐蝕性。兩端配置法蘭接口,用于連接抽氣系統(tǒng)、觀察窗及其他附屬裝置,其中主法蘭通常采用標準規(guī)格以適配通用組件。
       內(nèi)部設計注重氣流優(yōu)化,通過平滑內(nèi)壁減少粒子沉積風險;外部設置加強筋結構增強抗壓能力,同時預留吊裝耳板便于安裝定位。密封環(huán)節(jié)很重要,多采用金屬密封圈與O型橡膠圈組合方案,配合精密加工的配合面實現(xiàn)高真空度保持。部分型號還會集成水冷管道或加熱裝置,以滿足特殊工藝需求。
       該結構設計在確保圓筒型臥式真空腔體的真空性能的基礎上,充分考慮了操作便利性、維護空間及擴展兼容性,廣為應用于半導體制造、材料研發(fā)等領域。
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2025/09/19 09:57:38 109 次

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