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       真空腔體檢漏主要有三種：氦質(zhì)譜檢漏，真空封泥檢測法，真空計檢漏法。下面具體介紹一下氦質(zhì)譜檢漏法。

       氦質(zhì)譜檢漏是一項很重要的技能，因檢漏效率高，操作簡單，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不容易受到其他氣體干擾，在真空腔體檢漏中得到了很多應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。

       由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規(guī)、收集器組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣等部分組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，在洛倫茲力的作用下偏轉(zhuǎn)，進而形成了圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測到。其中，噴氦法和吸氦法是真空腔體氦質(zhì)譜檢漏常用的兩種方法。